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　　EDI超純水技術(shù)具有技術(shù)先進(jìn)、操作簡(jiǎn)便，是清潔生產(chǎn)技術(shù)，在微電子工業(yè)、電力工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、化工工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域日趨廣泛的應(yīng)用。

　　受成本、環(huán)境和質(zhì)量因素的影響， 超純水的生產(chǎn)工藝在近幾十年內(nèi)經(jīng)歷了很多變化。一個(gè)趨勢(shì)特別明顯，即減少對(duì)離子交換(IX)的依賴程度，其目的在于將化學(xué)藥品使用減少到低，并提高水的利用率。

　　反滲透(RO)技術(shù)能將水中95-98的離子去除，從而大大減少了酸堿的用量，但還不能完全不使用化學(xué)藥品。為了制備超純水，通常采用反滲透+混床工藝?；齑搽x子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生，在再生過(guò)程中使用相應(yīng)的化學(xué)藥品(酸堿)，已無(wú)法滿足現(xiàn)代工業(yè)清潔生產(chǎn)和環(huán)保的需要。于是將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)有機(jī)結(jié)合形成的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)技術(shù)。

　　電去離子(Electrodeionization 簡(jiǎn)稱EDI)是將電滲析膜分離技術(shù)與離子交換技術(shù)有機(jī)地結(jié)合起來(lái)的一種新的制備超純水(高純水)的技術(shù)，它利用電滲析過(guò)程中的現(xiàn)象對(duì)填充在淡水室中的離子交換樹脂進(jìn)行電化學(xué)再生。

　　EDI膜堆主要由交替排列的陽(yáng)離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負(fù)電組成。在直流電場(chǎng)的作用下，淡水室中離子交換樹脂中的陽(yáng)離子和陰離子沿樹脂和膜構(gòu)成的通道分別向負(fù)和正方向遷移，陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子交換膜，陰離子透過(guò)陰離子交換膜，分別進(jìn)入濃水室形成濃水。同時(shí)EDI進(jìn)水中的陽(yáng)離子和陰離子跟離子交換樹脂中的氫離子和氫氧根離子交換，形成超純水(高純水)。超電流使水電解產(chǎn)生的大量氫離子和氫氧根離子對(duì)離子交換樹脂進(jìn)行連續(xù)的再生。傳統(tǒng)的離子交換，離子交換樹脂飽和后需要化學(xué)間歇再生。而EDI膜堆中的樹脂通過(guò)水的電解連續(xù)再生，工作是連續(xù)的，不需要酸堿化學(xué)再生。

   　天宇純水設(shè)備設(shè)計(jì)圖（部分展示）：

  　超純水水質(zhì)參考標(biāo)準(zhǔn)：

A：需要用戶注意的是，分析數(shù)據(jù)通常依賴于儀器和技術(shù)。因此，表1的數(shù)字只是基線。每當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)新的線寬時(shí)，應(yīng)對(duì)此表進(jìn)行修訂。

B：類型E-1.3中顯示的值是將國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展藍(lán)圖中己知污染物的風(fēng)險(xiǎn)因素與當(dāng)前半導(dǎo)體加工中的相關(guān)線寬的生產(chǎn)制程進(jìn)行校準(zhǔn)的結(jié)果，在某些情況下這些值可能會(huì)與類型E-1.2中的值不同。用戶如果對(duì)E-1.2型水使用更高數(shù)值，可以放心使用。

除電阻率外，所有值均等于或小于。

C：硼僅作為監(jiān)測(cè)離子交換床的操作參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

備注：以上數(shù)據(jù)根據(jù)英文版ASTM D 5127-2018翻譯而成，如有偏差請(qǐng)以英文版原文為準(zhǔn)。