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/ detailed description電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種:
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
天宇純水設(shè)備設(shè)計(jì)圖(部分展示):
超純水水質(zhì)參考標(biāo)準(zhǔn):
A:需要用戶注意的是,分析數(shù)據(jù)通常依賴于儀器和技術(shù)。因此,表1的數(shù)字只是基線。每當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)新的線寬時(shí),應(yīng)對此表進(jìn)行修訂。
B:類型E-1.3中顯示的值是將國際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展藍(lán)圖中己知污染物的風(fēng)險(xiǎn)因素與當(dāng)前半導(dǎo)體加工中的相關(guān)線寬的生產(chǎn)制程進(jìn)行校準(zhǔn)的結(jié)果,在某些情況下這些值可能會(huì)與類型E-1.2中的值不同。用戶如果對E-1.2型水使用更高數(shù)值,可以放心使用。
除電阻率外,所有值均等于或小于。
C:硼僅作為監(jiān)測離子交換床的操作參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測。
備注:以上數(shù)據(jù)根據(jù)英文版ASTM D 5127-2018翻譯而成,如有偏差請以英文版原文為準(zhǔn)。
品牌優(yōu)勢
/ Brand advantage定制方案,工程承包
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Well appointed真實(shí)案例,見證品質(zhì)
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